基板処理装置および基板搬入搬出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-144451
公開番号（公開出願番号）：特開2002-338042
出願日： 2001年05月15日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】輸送時の再組み立て・調整が必要なく、しかもより小型の基板搬送手段を備えた基板処理装置を提供する。【解決手段】搬送ロボットTRは、搬送アーム31a,31bを備えたアームステージ35を伸縮体40の上部に設けて構成される。収縮体40は、4つの分割体40a,40b,40c,40dからなり、それらを順次に引き出したり、収納したりすることによって伸縮体40の全体が伸縮する。伸縮体40が伸縮することにより搬送アーム31a,31bの昇降が行われる。また、アームステージ35に内蔵されたモータによって、搬送アーム31a,31bの回転動作および水平進退動作が行われる。伸縮体40の伸縮動作は、伸縮体40の内部に設けられた電動モータ、ローラ、ベルト等からなる昇降機構によって実現される。よって、発塵防止のためのカバーが不要となり搬送ロボットTRが小型になる。

請求項（抜粋）：

高さ方向に伸縮自在の基板搬送手段が、複数の処理部に対して基板を搬送して所定の処理を行う基板処理装置であって、前記基板搬送手段は、基板を保持して前記複数の処理部との間で基板の受け渡しを行う搬送アームと、それぞれが中空となっている複数の分割体を含み、それらのうちの第1の分割体に隣接する第2の分割体を前記第1の分割体に収容しつつ相対的に昇降させることにより、前記複数の分割体の全体が高さ方向に沿って伸縮動作を行う伸縮体と、前記伸縮体の上部に設けられ、前記搬送アームを鉛直軸周りに回転させる回転駆動機構と、前記伸縮体の内側に設けられ、前記伸縮体に前記伸縮動作を行わせることにより前記搬送アームを昇降させる昇降機構と、を備えることを特徴とする基板処理装置。

IPC (6件)：

B65G 49/07 , B25J 9/06 , B25J 18/02 , B65G 49/06 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (7件)：

B65G 49/07 C , B25J 9/06 D , B25J 18/02 , B65G 49/06 Z , H01L 21/68 A , H01L 21/30 562 , H01L 21/30 502 J

Fターム (51件)：

3C007AS05 , 3C007AS24 , 3C007AS25 , 3C007BS15 , 3C007BS26 , 3C007CT02 , 3C007CT04 , 3C007CT05 , 3C007CU03 , 3C007CV07 , 3C007CW07 , 3C007CY16 , 3C007CY28 , 3C007CY36 , 3C007CY37 , 3C007HS27 , 3C007HT02 , 3C007HT06 , 3C007HT20 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031CA07 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA04 , 5F031FA07 , 5F031FA12 , 5F031FA15 , 5F031GA02 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031GA50 , 5F031LA09 , 5F031LA12 , 5F031LA13 , 5F031MA02 , 5F031MA03 , 5F031MA06 , 5F031MA13 , 5F031MA24 , 5F031MA26 , 5F031NA03 , 5F031NA14 , 5F031NA18 , 5F031PA06 , 5F046AA28 , 5F046CD01 , 5F046CD05 , 5F046CD06

引用特許：

審査官引用 (6件)

ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-303413 出願人：川崎重工業株式会社
円筒座標型ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-181187 出願人：新明和工業株式会社
ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-119582 出願人：川崎重工業株式会社

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