固体撮像装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-275298
公開番号（公開出願番号）：特開平9-116127
出願日： 1995年10月24日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】ホワイトバランスのすぐれたカラー固体撮像装置を提供する。【解決手段】遮光層5の開口面積、遮光層5上の保護層6の厚さ、およびオンチップマイクロレンズ9の形状を、オンチップカラーフィルタ層8の各色に対応して異ならしめ、光センサ部2への入射光量を制御する。【効果】従来オンチップカラーフィルタ層の染色濃度条件に依存していた光センサ部への入射光量の制御が、設計自由度の拡大により、正確に制御することが可能となる。

請求項（抜粋）：

複数の光センサ部上に選択的に形成された開口部を有する遮光層と、前記複数の光センサ部上および前記遮光層上の全面に形成された保護層と、前記保護層上に形成された平坦化層上に、前記複数の光センサ部に臨んで周期的に形成された複数色のオンチップカラーフィルタ層と、前記オンチップカラーフィルタ層上に形成されたオンチップマイクロレンズと、を具備する固体撮像装置であって、前記遮光層、前記保護層および前記オンチップマイクロレンズのうちの少なくともいずれか1種は、前記オンチップカラーフィルタ層の各色に対応して、前記光センサ部への入射光量を異にする構造であることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (4件)：

H01L 27/14 , H01L 27/148 , H04N 9/04 , H04N 9/07

FI (4件)：

H01L 27/14 D , H04N 9/04 B , H04N 9/07 A , H01L 27/14 B

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