特許

J-GLOBAL ID：200903004228914801

記録媒体製造用原盤の製造装置及び製造方法

発明者： 古木 基裕 ,  増原 慎
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-087370
公開番号（公開出願番号）：特開平11-288527
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】 高記録密度化及び高記録容量化に対応可能な記録媒体の製造を可能とする記録媒体製造用原盤の製造装置及び製造方法を提供する。【解決手段】 イオンビームを発射するイオンビーム発射源と、上記イオンビーム発射源から発射されたイオンビームを集束させるイオンビーム集束手段とを備え、上記イオンビーム発射源から発射されたイオンビームを上記イオンビーム集束手段により基板上に集束させて、当該基板上に情報を示すパターンを形成する。

請求項（抜粋）：

イオンビームを発射するイオンビーム発射源と、上記イオンビーム発射源から発射されたイオンビームを集束させるイオンビーム集束手段とを備え、上記イオンビーム発射源から発射されたイオンビームを、上記イオンビーム集束手段によって基板上に集束して、当該基板上に情報を示すパターンを形成することを特徴とする記録媒体製造用原盤の製造装置。