特許
J-GLOBAL ID:200903004228942040

ターボ形ドライポンプ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 西岡 義明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-027606
公開番号(公開出願番号):特開2001-221187
出願日: 2000年02月04日
公開日(公表日): 2001年08月17日
要約:
【要約】【課題】 軸受を冷却する冷却ガスが排気ガスと混入しないようにしたターボ形ドライポンプを提供する。【解決手段】 ターボ形ポンプ機構の排気口1Hより軸方向他端側、すなわち下方のステータ1Lとロータ2Lを互いに近接対向させてシール機構を構成する。さらに、このロータ2Lには翼2Yを付設して回転時遠心翼の機能を生起させるよう構成する。このシール機構と遠心翼機能で排気ガスは軸受5、6側への流出が阻止され、軸受5、6の冷却ガスとの混合が阻止される。
請求項1:
円筒状のハウジング内に軸受を介して回転体を軸着するとともにこの回転体の円周部と前記ハウジングの内周に形成したステータとの間でガス圧縮のポンプ作用を行う円周流ポンプを前記回転体の軸方向に多段に設け、ハウジングの軸方向一端側の吸気口からのガスを圧縮しハウジングの軸方向他端側の排気口に排出するようにしたターボ形ドライポンプにおいて、前記排気口より軸方向他端側の回転体とステータを互いに近接対向させてシール機構を設けるとともに、このシール機構の位置より他端側のハウジングに前記軸受を冷却する冷却ガスを外部に排出する排出口を設け、軸受を冷却した冷却ガスが前記シール機構によって円周流ポンプ側に侵入しないよう構成したことを特徴とするターボ形ドライポンプ。
Fターム (11件):
3H031DA01 ,  3H031DA05 ,  3H031DA07 ,  3H031EA00 ,  3H031EA02 ,  3H031EA09 ,  3H031FA01 ,  3H031FA11 ,  3H031FA32 ,  3H031FA35 ,  3H031FA36
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • ヘリウムリークデテクタ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-025086   出願人:株式会社大阪真空機器製作所
  • ターボ分子ポンプ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-231754   出願人:セイコー精機株式会社
  • 特開平1-257794
全件表示

前のページに戻る