特許
J-GLOBAL ID:200903004230805955

レーザ発振器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  廣瀬 繁樹 ,  西山 雅也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-168075
公開番号(公開出願番号):特開2006-344722
出願日: 2005年06月08日
公開日(公表日): 2006年12月21日
要約:
【課題】 放電電極における放電を安定させつつ、レーザ出力を迅速に制御する。【解決手段】 第一の電極対(7a)と、第二の電極対(7b)と、第一および第二の電極対においてパルス放電を生じさせる放電電源(4)と、放電電源によるパルス放電時に第一の電極対における第一の放電位相(X1)と第二の電極対における第二の放電位相(X2)とが互いに異なるように制御する放電位相制御手段(53)、パルス放電時に第一の電極対における第一のデューティ比(Y1)と第二の電極対における第二のデューティ比(Y2)とが互いに異なるように制御するデューティ比制御手段(53)、およびパルス放電時に第一の電極対における第一のパルス周波数(Z1)と第二の電極対における第二のパルス周波数(Z2)とが互いに異なるように制御するパルス周波数制御手段(53)のうちの少なくとも一つとを具備するレーザ発振器(2)が提供される。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
第一の電極対と、 該第一の電極対に対して直列に配置された第二の電極対と、 前記第一および第二の電極対においてパルス放電を生じさせる放電電源と、 該放電電源によるパルス放電時に前記第一の電極対における第一の放電位相と前記第二の電極対における第二の放電位相とが互いに異なるように制御する放電位相制御手段とを具備するレーザ発振器。
IPC (1件):
H01S 3/101
FI (1件):
H01S3/101
Fターム (7件):
5F172AD05 ,  5F172EE02 ,  5F172NN22 ,  5F172NP03 ,  5F172NQ05 ,  5F172NQ07 ,  5F172ZZ01
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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