特許
J-GLOBAL ID:200903004240094879
焼結体膜の形成方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小西 淳美
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-290673
公開番号(公開出願番号):特開平9-110534
出願日: 1995年10月13日
公開日(公表日): 1997年04月28日
要約:
【要約】【課題】 ガラス基板等の低温焼成処理が必要な素材に対して、気孔が少なく表面平滑性に優れた良質な焼結体膜を短時間の熱処理で形成する方法を提供する。【解決手段】 無機粉体と、樹脂バインダーからなる塗布層をガラス等の基板上に形成し、当該塗布層を焼成し、樹脂バインダーを分解除去した後に無機粉体を焼結せしめる焼結体膜の形成に際し、焼成前に塗布層に電離放射線を照射して樹脂バインダーの分解を促進させる工程を設ける。
請求項(抜粋):
無機粉体と、樹脂バインダーを主成分としてなる塗布層を基板上に形成する工程と、前記塗布層を焼成することにより樹脂バインダーを分解除去した後に無機粉体を焼結せしめる工程とからなる焼結体膜の形成方法において、前記塗布層を焼成する工程の前に、前記塗布層に電離放射線を照射する工程を設けたことを特徴とする焼結体膜の形成方法。
IPC (6件):
C04B 35/622
, B28B 11/00
, B28B 19/00
, C03C 17/22
, C04B 35/632
, C04B 35/64
FI (7件):
C04B 35/00 E
, B28B 19/00
, C03C 17/22 Z
, B28B 11/00 Z
, C04B 35/00 108
, C04B 35/64 G
, C04B 35/64 L
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