特許

J-GLOBAL ID：200903004248825783

セラミックヒータ

発明者： 舟木 浩二 ,  松原 桂 ,  伊藤 正也
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-089087
公開番号（公開出願番号）：特開2004-296337
出願日： 2003年03月27日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】ヒータ部材と発熱体との熱膨張係数の差を小さくし、ヒータ部材の亀裂や折損を抑制するセラミックヒータを提供することを目的とする。【解決手段】ヒータ部材21に、MoまたはWの珪化物、窒化物、炭化物を主成分とする発熱体を埋設してなるセラミックヒータ1において、ヒータ部材21は、窒化珪素を主成分とし、希土類元素と、Cr化合物と、粒径が3μm未満で5〜10vol%のCrとWとからなる化合物と、を含有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ヒータ部材に、MoまたはWの珪化物、窒化物、炭化物を主成分とする発熱体を埋設してなるセラミックヒータにおいて、 前記ヒータ部材は、窒化珪素を主成分とし、希土類元素と、Cr化合物と、粒径が3μm未満で5〜10vol%のCrとWとからなる化合物と、を含有することを特徴とするセラミックヒータ。

IPC (6件)：

H05B3/14 ,  C04B35/58 ,  C04B35/584 ,  F23Q7/00 ,  F23Q7/22 ,  H05B3/48

FI (8件)：

H05B3/14 B ,  C04B35/58 101D ,  C04B35/58 101Z ,  F23Q7/00 S ,  F23Q7/22 615A ,  H05B3/48 ,  C04B35/58 102K ,  C04B35/56 101U

Fターム (32件)：

3K092PP16 ,  3K092QA01 ,  3K092QB13 ,  3K092QB26 ,  3K092QB74 ,  3K092RA02 ,  3K092RA08 ,  3K092RD03 ,  3K092VV40 ,  4G001BA04 ,  4G001BA08 ,  4G001BA12 ,  4G001BA22 ,  4G001BA32 ,  4G001BA48 ,  4G001BA69 ,  4G001BB04 ,  4G001BB08 ,  4G001BB12 ,  4G001BB22 ,  4G001BB32 ,  4G001BB48 ,  4G001BB69 ,  4G001BC13 ,  4G001BC23 ,  4G001BC42 ,  4G001BC52 ,  4G001BC54 ,  4G001BD01 ,  4G001BD02 ,  4G001BD37 ,  4G001BE15