特許
J-GLOBAL ID：200903004249184293
ウエーハ収納容器のウエーハ押え
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
山下 亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-245252
公開番号（公開出願番号）：特開平5-063064
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】[目的] ウエーハとの間に滑りを生じず、パーティクルの発生を抑えてウエーハの汚染を防ぐことができるウエーハ押えを提供すること。[構成] ウエーハ押え3の各弾性片6を、ウエーハとの当接部が不動状態を保ったまま、或る中間点を支点として屈曲可能に構成する。従って、ウエーハ収納容器に収容されたウエーハが搬送中に振動しても、ウエーハ押え3の弾性片6は、ウエーハを係止したまま中間点(屈曲点)を支点として屈曲してウエーハの振動を吸収するため、該弾性片6とウエーハとの間に滑りが発生しない。この結果、弾性片6が削られてパーティクルを発生することがなく、ウエーハのパーティクルによる汚染が確実に防がれる。尚、ウエーハ押え3は、ウエーハを弾性的に保持してこれの破損を防ぐという本来の機能も果たす。
請求項（抜粋）：
ウエーハ収納容器の上蓋の内側に着脱自在に取り付けられ、ウエーハ収納容器内に収容された複数のウエーハの各上縁を短冊状の弾性片で押えて該ウエーハを保持するウエーハ収納容器のウエーハ押えにおいて、前記弾性片は、ウエーハとの当接部が不動状態を保ったまま、或る中間点を支点として屈曲可能に構成されることを特徴とするウエーハ収納容器のウエーハ押え。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 85/00
, B65D 85/38
