特許

J-GLOBAL ID：200903004254261492

スピンチャックの製造方法

発明者： 関根 勝美
出願人/特許権者： エヌオーケー株式会社
代理人 (1件)： 野本 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-351494
公開番号（公開出願番号）：特開2001-168179
出願日： 1999年12月10日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】樹脂製のスピンチャックの円盤部3の上面ないし突起5,6の上面にうねりや反り等が発生しにくく、もって寸法精度に優れ、更にコストが安い樹脂製のスピンチャックを製造することが可能なスピンチャックの製造方法を提供する【解決手段】 回転処理装置の回転支持台として用いられる樹脂製のスピンチャックを、そのセンター1点からのゲート方式により成形することにした。

請求項１：

回転処理装置の回転支持台として用いられる樹脂製のスピンチャック(1)を、そのセンター1点からのゲート方式により成形することを特徴とするスピンチャックの製造方法。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B05C 11/08

FI (2件)：

H01L 21/68 P ,  B05C 11/08

Fターム (7件)：

4F042AA07 ,  4F042AA08 ,  4F042CC04 ,  4F042DA01 ,  5F031CA02 ,  5F031GA26 ,  5F031MA26