特許
J-GLOBAL ID：200903004255329910
試料ホルダー
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-342426
公開番号（公開出願番号）：特開2002-150984
出願日： 2000年11月09日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
要約：
【要約】【課題】 追加加工等の加工が容易に出来る試料ホルダーを提供する。【解決手段】 試料ホルダー本体31の先端部に、直方体状の支持穴32が形成されており、この穴に直方体状の試料ベース33がセットされている。試料ベース33には、該試料ベース33の上面に対し、垂直に直方体状の溝34が形成されている。該溝の縦及び横の各寸法は観察用試料の縦及び横の各寸法より少し大きめに作られており、溝の高さ(深さ)寸法は観察用試料の高さの寸法より可成り大きめ(例えば、2倍以上)に作られている。試料26を支持したピックアップ用プローブ28を試料ホルダー本体31の先端部の支持穴32の方に向かって移動させ、該支持穴32内にセットされている試料ベース33に形成されている溝34内に試料26を挿入する。
請求項（抜粋）：
試料が挿入されることにより該試料を支持する様に成した溝が形成された試料ベースを先端部近傍に有する試料ホルダー。
IPC (3件)：
H01J 37/20
, G01N 1/28
, G01N 1/32
H01J 37/20 A
, G01N 1/32 B
, G01N 1/28 W
, G01N 1/28 G
, G01N 1/28 F
