特許
J-GLOBAL ID：200903004262522653
超純水の炭酸ガス付加装置及び付加方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-130966
公開番号（公開出願番号）：特開平10-324502
出願日： 1997年05月21日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：
【要約】【課題】 超純水に気体透過膜を介して炭酸ガスを付加し、比抵抗値の調整された超純水を製造する際、従来は生成水の比抵抗値を測定しながら供給水または供給ガスの流量を調整していたが、生成水の消費量に変動がある場合に、一定範囲の比抵抗値の超純水を安定して供給するのが困難で、それを達成するには装置の高機能化を要し容易でなく、コスト上も問題である。【解決手段】 小流量の炭酸ガス高濃度付加水(通常は飽和濃度水)を中空糸膜を介して生成させ、これを一定比率で大流量の原水と均一混合する。膜モジュールの処理能力が幅を有するので、大小の流れの流量比を一定に保つことによって、生成水の消費量変動による総流量変動が存在しても、それに対して比抵抗値を一定に保つための特別な自動制御装置を必要としない。装置の小型化、簡略化、運転コストの削減が可能。
請求項（抜粋）：
超純水の比抵抗を調整するために超純水に炭酸ガスを供給し、所望の比抵抗値の超純水を製造する装置において、比抵抗値が目標値より低い値となる様に炭酸ガスが付加された超純水を生成させる手段と、その炭酸ガス付加水を超純水原水と均一混合させる手段とからなる超純水の炭酸ガス付加装置。
IPC (6件)：
C01B 5/00
, B01D 53/22
, B01D 63/02
, B01D 69/02
, B01F 1/00
, B01F 3/04
C01B 5/00 Z
, B01D 53/22
, B01D 63/02
, B01D 69/02
, B01F 1/00 A
, B01F 3/04 A
