特許
J-GLOBAL ID：200903004265744339
温度センサを較正する無線装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-198561
公開番号（公開出願番号）：特開平6-224206
出願日： 1993年08月10日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】 精密で再現性のある温度較正点を有する無線式較正装置。【構成】 少なくとも1つの温度センサを較正する装置と方法を説明した。150°C乃至1,150°Cの範囲内に融点を持つ材料の第1の複数個の較正アイランド(36)を持つウェーハ(30)を用意する。温度センサを使って、又は別個の光源を通じて、動作中のウェーハの実効的な反射率を測定する。第1の較正アイランドの融点に等しいウェーハ温度に対応する、温度センサの出力信号の第1の階段形の変化を検出する。最後に、温度センサの較正パラメータを計算する。この他の装置及び方法も説明した。
請求項（抜粋）：
当該少なくとも1つの温度センサが当該無線装置の温度に依存する特性を検出して、この温度に依存する特性に対応する信号を出力する様に作用し得る様な少なくとも1つの温度センサを較正する無線装置に於て、複数個の較正アイランドを持つウェーハを有し、該アイランドは150°C乃至1,150°Cの範囲内の融点を持つ材料であって、動作中、傾斜形温度較正過程の間、前記融点に等しいウェーハ温度で、前記温度に依存する特性に階段形の変化が発生する様になっている無線装置。
IPC (4件)：
H01L 21/324
, G01K 15/00
, H01L 21/26
, H01L 21/66
