特許
J-GLOBAL ID:200903004267020702

薄膜形成用組成物の製造法とそれを用いた薄膜

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-114105
公開番号(公開出願番号):特開平11-269656
出願日: 1998年03月20日
公開日(公表日): 1999年10月05日
要約:
【要約】【課題】 アルキルアミンを配位させた金属塩の有機溶媒溶液の製造法を提供することである。【解決手段】 アルキルアミンを芳香族炭化水素、その他の炭化水素のような有機溶媒で希釈した溶液とあらかじめpH調整した金属塩水溶液とを接触させることによって金属塩を有機溶媒層に抽出し、水層を分離除去して金属アルキルアミン錯体を含む有機溶媒溶液を製造する。また、アルキルアミンを芳香族炭化水素、その他の炭化水素のような有機溶媒で希釈した溶液に金属塩、金属キレートあるいは金属アルコキシドを添加して有機溶媒溶液を製造する。
請求項(抜粋):
アルキルアミンを芳香族炭化水素、その他の炭化水素のような有機溶媒で希釈した溶液とあらかじめpH調整したIII〜V族、VIII族、VIa族、VIIa族、Ib族、IIb族等の金属塩水溶液とを接触させることによって金属塩を有機溶媒層に抽出し、水層を分離除去して金属アルキルアミン錯体を含む有機溶媒溶液を得ること、あるいは、さらに抽出時に使用した有機溶媒を蒸発留去し、その溶液に炭化水素類、アルコール類、エステル類、β-ジケトエステル類、エーテル類、β-ジケトン類、グリコール類等の置換用有機溶媒またはそれらの混合物を添加することを特徴とする薄膜形成用組成物の製造法。
IPC (2件):
C23C 18/12 ,  C23C 16/18
FI (2件):
C23C 18/12 ,  C23C 16/18
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 特開平4-331715
  • 特開平1-318044
  • 特開平1-226721
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