特許
J-GLOBAL ID：200903004273551930

板状ワークの温度調整装置及び温度調整方法

発明者：
太田 浩一

太田 浩一 について

, 
浅沼 一範

浅沼 一範 について

, 
寺島 雅俊

寺島 雅俊 について


出願人/特許権者：
オリオン機械株式会社

オリオン機械株式会社 について


代理人 (2件)： 綿貫 隆夫 ,  堀米 和春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-186509
公開番号（公開出願番号）：特開2008-015241
出願日： 2006年07月06日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：
【課題】所定間隔を置いて精密加工が施される複数枚の板状の各ワークに対して同時に且つ容易に温度調整を施すことのでき、且つワークに帯電した静電気を容易に除電できる板状ワークの温度調整装置を提供する。【解決手段】精密加工が施される複数枚の板状のワークとしてのガラス板16,16・・を所定間隔を介して平行に積層して積層体を形成する積層手段としての棚体10と、ガラス板16,16・・各々の両面に沿って空気流が平行流として流れるように、前記積層体の一端側の全面に亘って前記空気流を供給する空気流供給手段としての空気供給部20と、前記空気流を所定温度に調整する熱交換器32と加熱ヒータ30とから成る温度調整手段とを具備し、前記棚体10と空気流供給部20との間に、ガラス板16,16・・の各々に帯電している静電気を除去する静電気除去装置が設けられていることを特徴とする。【選択図】図1
請求項１：
精密加工が施される複数枚の板状のワークを所定間隔を介して平行に積層して積層体を形成する積層手段と、前記ワークの各々の両面に沿って空気流が平行流として流れるように、前記複数枚のワークが積層されている積層体の一端側の全面に亘って前記空気流を供給する空気流供給手段と、前記空気流を所定温度に調整する温度調整手段とを具備し、 前記積層手段と空気流供給手段との間に、前記ワークに帯電している静電気を除去する静電気除去装置が設けられていることを特徴とする板状ワークの温度調整装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 ,  G02F 1/13 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F7/20 501 ,  G02F1/13 101 ,  H01L21/30 502H
Fターム (12件)：
2H088EA68 ,  2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H097BA02 ,  2H097DB07 ,  2H097DB20 ,  2H097LA12 ,  5F046CC01 ,  5F046DA26 ,  5F046DB02
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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