特許

J-GLOBAL ID：200903004280081761

薄膜製造装置およびそれを用いて製造された有機エレクトロルミネッセンス素子

発明者： 川瀬 徳隆
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-209590
公開番号（公開出願番号）：特開2003-031359
出願日： 2001年07月10日
公開日（公表日）： 2003年01月31日
要約：

【要約】【課題】 有機EL素子を応用したディスプレイ等の生産効率を向上させることができると共に無駄になる成膜材料を削減できる薄膜製造装置を提供すること。【解決手段】 薄膜製造装置は、複数の基板を重ねて収容するための2つのカセットと、一方のカセットに重ねて収容された複数の基板のうちの最下部の基板に成膜するための成膜装置と、1枚の基板が成膜される毎に成膜された基板を他方のカセットへ移し替えるための移し替え部材を備え、成膜装置は成膜室を有し、その中で基板の成膜と移し替えが行われる。

請求項（抜粋）：

複数の基板を重ねて収容するための2つのカセットと、一方のカセットに重ねて収容された複数の基板のうちの最下部の基板に成膜するための成膜装置と、1枚の基板が成膜される毎に成膜された基板を他方のカセットへ移し替えるための移し替え部材を備え、成膜装置は成膜室を有し、その中で基板の成膜と移し替えが行われる薄膜製造装置。

IPC (7件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/56 ,  G09F 9/00 338 ,  G09F 9/00 342 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/22

FI (7件)：

H05B 33/10 ,  C23C 14/24 J ,  C23C 14/56 G ,  G09F 9/00 338 ,  G09F 9/00 342 Z ,  H05B 33/14 A ,  H05B 33/22 D

Fターム (22件)：

3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029BA62 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029HA01 ,  4K029KA02 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435CC09 ,  5G435HH11 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10