特許

J-GLOBAL ID：200903004284635184

静圧気体軸受装置

発明者： 明石 幸治 ,  柳橋 健太郎
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-109854
公開番号（公開出願番号）：特開平10-299779
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】軸受剛性が極めて高い静圧気体軸受装置を提供する。【解決手段】静圧気体軸受装置において、可動部材又は固定部材の軸受面に、軸受隙間へ圧縮気体を噴出する複数個の気体噴出孔を形成し、これら気体噴出孔に座ぐりを設けた多孔質体を挿嵌するとともに、前記軸受面に、各気体噴出孔と連通する環状の絞り溝を設ける。

請求項（抜粋）：

可動部材を固定部材との軸受隙間に静圧気体層を形成して支承し、非接触の状態で移動自在としてなる静圧気体軸受装置において、上記可動部材及び/又は固定部材の軸受面に、前記軸受隙間へ圧縮気体を噴出する複数個の気体噴出孔を形成し、これら気体噴出孔に座ぐりを設けた多孔質体からなるブッシュを挿嵌するとともに、前記軸受面に、各気体噴出孔と連通する環状の絞り溝を刻設したことを特徴とする静圧気体軸受装置。

IPC (2件)：

F16C 32/06 ,  B23Q 1/38

FI (2件)：

F16C 32/06 Z ,  B23Q 1/26 E

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 静圧気体軸受
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-190552   出願人：エヌティエヌ株式会社
• 特開昭55-060720