特許

J-GLOBAL ID：200903004290388199

光導波路付き半導体集積回路

発明者： 芝 健夫 ,  田上 知紀 ,  加藤 猛 ,  近藤 将夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 中村 純之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-016142
公開番号（公開出願番号）：特開平5-218384
出願日： 1992年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月27日
要約：

【要約】【目的】半導体集積回路の高集積化に伴い、同一半導体基板上の論理演算回路間における高速でかつ長い距離の信号伝送を容易にする半導体集積回路を提供する。【構成】半導体集積回路に電気信号と光信号とを相互に変換する変換素子(例えば5および10)と光導波路(7)とを集積し、かつ上記変換素子と光導波路を介して集積回路の信号伝送を行う手段を備える。【効果】半導体集積回路において、長い距離の信号伝送を行う場合の伝送遅延を、光信号伝送により低減でき、また短い距離の信号伝送用金属配線を微細化できるので、集積回路の高速化と高集積化が同時に図れる効果がある。

請求項（抜粋）：

半導体集積回路に電気信号と光信号とを相互に変換する変換素子と光導波路とを集積し、かつ上記変換素子と光導波路を介して集積回路の信号伝送を行う手段を備えることを特徴とする光導波路付き半導体集積回路。

IPC (5件)：

H01L 27/15 ,  G06E 1/00 ,  H01L 27/00 301 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/02

FI (2件)：

H01L 27/14 Z ,  H01L 31/02 B