特許
J-GLOBAL ID：200903004301842903
差圧センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-102846
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295176
出願日： 1998年04月14日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：
【要約】【課題】 種類の異なる流体にも容易に対応でき、かつ薄型化を促進できる差圧センサを提供すること。【解決手段】 圧力P1,P2を基板10が設けられた側とは反対側から第1、第2有効受圧面24,25に作用させる。このため、第1、第2固定電極12,13および第1、第2可動電極22,23に測定流体が接触せず、第1、第2固定電極12,13および第1、第2可動電極22,23から出力される電気信号を流体の種類に関係なく電気的に一様に処理でき、容易に差圧を求めることができる。また、各センサ部51,52を同一平面内に設けたため、差圧センサ1全体の薄型化を図ることができる。
請求項（抜粋）：
基板と、この基板に対して間隔を空けて弾性変形可能に対向配置されたダイアフラムとで構成される複数のセンサ部を備え、前記ダイアフラムには前記基板が設けられた側とは反対側から圧力が作用する有効受圧面が設けられ、前記複数のセンサ部のうちの少なくともいずれかのセンサ部には前記基板および前記ダイアフラムの各対向面に電極が設けられ、前記各センサ部が前記圧力の作用方向に対して交差する方向に並設されていることを特徴とする差圧センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (7件)
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特表昭61-500633
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容量式差圧センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-160721
出願人：セーエスウーエム・サントル・スイス・デレクトロニク・エ・ドゥ・ミクロテクニク・エスアー・ルシェルシュ・エ・デヴェロプマン
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特表昭61-500633
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