特許

J-GLOBAL ID：200903004306340310

荷物搬入出用ポートおよび保管装置

発明者： 中井 裕 稲森 平太
出願人/特許権者： アシスト シンコー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-092186
公開番号（公開出願番号）：特開2005-277326
出願日： 2004年03月26日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：

【課題】従来技術による保管装置の荷物搬入出用ポートは、保管棚部に隣接した専用スペースを設けて設置されるため、保管棚部から突出し、ポートの上方および下方には無駄空間が形成される。【解決手段】ストッカ1の側面にポート2を設け、ストッカ1へのFOUP4の搬入出はこのポート2を介して実行する。ポート2の上方および下方にはFOUP収納用棚セグメント33が設けられおり、ポート2は見掛け上、棚セグメント33の1つがポートに置換されただけの様相をなし、ポートとしての突出部が無い。ポート2は内側面シャッタ機構80、外側面シャッタ機構81とFOUPを載置するステージ30より構成される。内側面シャッタ機構80はシート部材11で構成される内側シャッタの開閉動作を司り、外側面シャッタ機構81はシート部材21で構成される外側シャッタの開閉動作を司る。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

半導体デバイス、液晶表示装置などの製造工場に於ける製造プロセスで、製造過程にある基板を一時的に保管するための保管装置に付設される荷物の搬入出用ポートであって、 保管装置内部に碁盤目状に設けられた棚空間の一部に設けられ、前記搬入出用ポートの直上と直下空間に前記搬入出用ポートにそれぞれ隣接して、碁盤目状棚が設けられた保管装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B65G1/00 ,  F24F7/06

FI (3件)：

H01L21/68 T ,  B65G1/00 521D ,  F24F7/06 C

Fターム (29件)：

3F022AA08 ,  3F022BB09 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022FF01 ,  3F022JJ07 ,  3F022KK11 ,  3F022KK20 ,  3F022MM13 ,  3L058BF03 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA15 ,  5F031GA19 ,  5F031GA43 ,  5F031GA45 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA58 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA22 ,  5F031LA13 ,  5F031NA02 ,  5F031NA09 ,  5F031PA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 半導体ウエハ収納装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-166759   出願人：三菱電機株式会社