特許
J-GLOBAL ID:200903004310669149

fθレンズ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-011573
公開番号(公開出願番号):特開平7-191261
出願日: 1994年02月03日
公開日(公表日): 1995年07月28日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 走査光学系に使用されるfθレンズにおいて、レンズの構成枚数を低減するとともに、波長の異なる複数のレーザビームを入射して重ね合わせても、その重合わせの誤差が小さくなるように、広い波長帯域に亘って高精度の色収差補正を可能とする。【構成】 入射瞳(偏向面)側より順に、負または正の屈折率を有する第1レンズL1 のみからなる第1レンズ群と、接合された正の屈折率を有する第2レンズL2 と負の屈折率を有する第3レンズL3 とからなる全体として正の屈折率を有する第2レンズ群とから構成される。
請求項(抜粋):
入射瞳側より順に、負または正の第1レンズからなる第1レンズ群と、接合された正の第2レンズと負の第3レンズとからなる全体として正の第2レンズ群とから構成され、以下の条件式(1) 〜(4) を満足することを特徴とするfθレンズ。12≦νd2d3 (1)-0.035≦Σ(φi di)≦0.005 (2)0.7≦φ23≦2.0 (3)0.03≦d12≦0.20 (4)但し、φi ;全系のパワーで規格化した入射瞳側から第i番目のレンズのパワーφ23;全系のパワーで規格化した第2レンズ群のパワーνdi;入射瞳側から第i番目のレンズのd線におけるアッベ数d12;全系の焦点距離で規格化した第1レンズ群と第2レンズ群のレンズ間隔
IPC (3件):
G02B 13/00 ,  G02B 13/18 ,  G02B 26/10

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