特許

J-GLOBAL ID：200903004311661931

遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物

発明者： 佐藤 健一郎
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 小栗 昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-370232
公開番号（公開出願番号）：特開2002-169293
出願日： 2000年12月05日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】 孤立コンタクトホールパターンのディフォーカス・ラチチゥード及びホールパターンの側壁のラフネスが改善された遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】 活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び特定構造の酸分解性脂環オレフィン系繰り返し単位、特定構造の無水物系繰り返し単位、及び特定構造の酸分解性アクリル系繰り返し単位を含み、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、及び、(B)下記一般式(I)で示される繰り返し構造単位、一般式(II)で示される繰り返し構造単位、及び一般式(III)で示される繰り返し構造を含み、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、を含有することを特徴とする遠紫外線露光用ポジ型フォトレジスト組成物。【化1】【化2】【化3】一般式(I)中:R11〜R14は、各々独立に、酸の作用により分解する基、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、-COOH、-COOR15、-C(=O)-X-A-R16、又は置換基を有していてもよいアルキル基或いは環状炭化水素基を表し、且つR11〜R14の内少なくとも1つは酸の作用により分解する基を表す。また、R11〜R14のうち少なくとも2つが結合して環を形成してもよい。nは0又は1を表す。ここで、R15は、置換基を有していてもよいアルキル基、環状炭化水素基又は下記の-Y基を表す。Xは、酸素原子、硫黄原子、-NH-、-NHSO2-、又は-NHSO2NH-を表す。Aは、単結合、アルキレン基、シクロアルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基よりなる群から選択される単独或いは2つ以上の基の組み合わせを表す。R16は、-COOH、-COOR15、-CN、水酸基、置換基を有していてもよいアルコキシ基、-CO-NH-R17、-CO-NH-SO2-R17又は下記の-Y基を表す。R17は、置換基を有していてもよいアルキル基又は環状炭化水素基を表す。-Y基;【化4】-Y基中、R21〜R30は、各々独立に、水素原子又は置換していてもよいアルキル基を表す。a、bは、1又は2を表す。一般式(II)中:Z2は、-O-又は-N(R41)-を表す。ここでR41は、水素原子、水酸基又は-OSO2-R42を表す。R42は、アルキル基、ハロアルキル基、シクロアルキル基又は樟脳残基を表す。一般式(III)中:R51は、水素原子、低級アルキル基、ハロゲン原子又は-CNを表す。Bは、単結合または連結基を表す。また、R52は、炭素数6〜20の脂肪族3級炭化水素基を表す。

IPC (8件)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 33/04 ,  C08L 35/00 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/00 ,  C08L 33/04 ,  C08L 35/00 ,  C08L 45/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (51件)：

2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J002BG031 ,  4J002BG041 ,  4J002BG071 ,  4J002BH021 ,  4J002BK001 ,  4J002CE001 ,  4J002CP032 ,  4J002EB006 ,  4J002EB067 ,  4J002EN136 ,  4J002EQ016 ,  4J002ER028 ,  4J002ES006 ,  4J002EU028 ,  4J002EU048 ,  4J002EU118 ,  4J002EU128 ,  4J002EU138 ,  4J002EU148 ,  4J002EU186 ,  4J002EU216 ,  4J002EU238 ,  4J002EV216 ,  4J002EV246 ,  4J002EV296 ,  4J002EW176 ,  4J002EX037 ,  4J002EY006 ,  4J002EZ006 ,  4J002FD206 ,  4J002FD208 ,  4J002FD312 ,  4J002FD317 ,  4J002GP03