特許

J-GLOBAL ID：200903004313410499

原子間力顕微鏡

発明者： 末 吉 孝
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-042862
公開番号（公開出願番号）：特開平8-240601
出願日： 1995年03月02日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：

【要約】【目的】 基板端部に形成された2種類のカンチレバーの何れを選択しても、探針先端を中心にカンチレバーを回転させる事を可能にする。【構成】 端部に大小2種類のカンチレバー1a,1bが形成された基板受け53の上に基板K ́をセットし、押さえ54により固定する。この状態で、使用すべきカンチレバーの位置合わせを行う。例えば、長い方のカンチレバー1aを使用する場合、微調捩子52を回して前記基板受け53を移動させ、前記カンチレバー1aの先端をレバーホルダー50の中心に持って来る。この時、若し、短い方のカンチレバー1bを使用する場合には、同じ様に微調捩子52を回して前記基板受け53を移動させ、前記カンチレバー1bの先端をレバーホルダー50の中心に持って来る

請求項（抜粋）：

その先端に探針が形成された夫々互いに長さの異なる複数のカンチレバーを設けた基板と、前記カンチレバーに光を照射するための光源と、前記カンチレバーで反射した光の位置ずれを検出する光検出器とを設けたヘッド、及び、試料を載置し前記探針を前記試料表面の原子間力の作用する領域内で3次元的に運動させるための微動機構を設けたベースを具備しており、前記基板をホルダーに取付け、該ホルダーを前記ヘッドに組込む様に成した原子間力顕微鏡であって、前記ホルダーに、前記基板が前記複数のカンチレバーの先端を結ぶラインに平行に滑動可能な基板保持用の溝を設けた原子間力顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z