電子線装置、電子線装置用データ処理装置、電子線装置のステレオデータ作成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮川貞二 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-062686
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270126
出願日： 2001年03月06日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：

【要約】【課題】電子顕微鏡から得られたステレオの検出データを適切に処理して、試料像を正確に精度よく立体観察可能とし、かつこれに基づき三次元形状計測を行うことができる電子線装置を提供する。【解決手段】電子線7を放射する電子線源1と、電子線7を試料9に照射する電子光学系2と、試料9を保持する試料ホルダ3と、試料ホルダ3と照射電子線7とを相対的に傾斜させる試料傾斜部と、試料9から出射される電子線7dを検出する電子線検出部4と、試料ホルダ3と照射電子線7とを相対的に傾斜させた際のステレオの検出データを所定の関係にデータ修正するデータ修正部31とを備えている。

請求項（抜粋）：

電子線を放射する電子線源と;前記電子線を試料に照射する電子光学系と;前記試料を保持する試料ホルダと;前記試料ホルダと前記照射電子線とを相対的に傾斜させる試料傾斜部と;前記試料から出射される電子線を検出する電子線検出部と;前記試料ホルダと前記照射電子線とを相対的に傾斜させた際の、ステレオの検出データを所定の関係にデータ修正するデータ修正部と;を備える電子線装置。

IPC (11件)：

H01J 37/28 , G01B 15/00 , G01B 15/04 , G01N 23/04 , G01N 23/225 , G21K 5/00 , G21K 5/04 , H01J 37/22 501 , H01J 37/22 502 , H01J 37/26 , H01L 21/66

FI (11件)：

H01J 37/28 B , G01B 15/00 B , G01B 15/04 , G01N 23/04 , G01N 23/225 , G21K 5/00 A , G21K 5/04 M , H01J 37/22 501 A , H01J 37/22 502 H , H01J 37/26 , H01L 21/66 J

Fターム (42件)：

2F067AA53 , 2F067HH06 , 2F067HH13 , 2F067JJ05 , 2F067KK04 , 2F067LL16 , 2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001BA11 , 2G001CA03 , 2G001DA01 , 2G001DA09 , 2G001FA06 , 2G001FA08 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001GA13 , 2G001HA13 , 2G001JA07 , 2G001LA11 , 2G001PA15 , 4M106AA02 , 4M106BA02 , 4M106CA38 , 4M106DB04 , 4M106DB05 , 4M106DB12 , 4M106DB18 , 4M106DB30 , 4M106DJ02 , 4M106DJ15 , 4M106DJ19 , 4M106DJ20 , 4M106DJ21 , 4M106DJ24 , 5C033SS02 , 5C033SS04 , 5C033SS10 , 5C033UU01 , 5C033UU03 , 5C033UU05 , 5C033UU06

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平1-161648
表面形状観測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-097745 出願人：ソニー株式会社
特開平3-255303

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審査官引用 (5件)

特開平1-161648
表面形状観測方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-097745 出願人：ソニー株式会社
特開平3-255303

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