特許

J-GLOBAL ID：200903004316895787

フッ素化エステルのジアゾ増感剤

発明者： ディネシュ、エヌ、カンナ ,  ロバート、イー、ポトビン
出願人/特許権者： ヘキスト・セラニーズ・コーポレーション
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-353453
公開番号（公開出願番号）：特開平6-027663
出願日： 1991年12月17日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】ヘキサフルオロイソプロピリデン基を含有するジアゾフッ素化エステルを含む光増感剤組成物であって、前記光増感剤は下記式【化1】(式中、Rは水素、メチル、エチルおよびフェニルから選ばれる)を有するヘキサフルオロ-ビス-フェノールおよび下記式【化2】(式中、R′は水素、メチル、エチルおよびフェニルから選ばれる)を有するビス-ヘキサフルオロエーテルから選ばれる光増感剤組成物。

請求項（抜粋）：

ヘキサフルオロイソプロピリデン基を含有するジアゾフッ素化エステルを含む光増感剤組成物であって、前記光増感剤が下記式【化1】(式中、Rは水素、メチル、エチルおよびフェニルから選ばれる)を有するヘキサフルオロ-ビス-フェノールおよび下記式【化2】(式中、R′は水素、メチル、エチルおよびフェニルから選ばれる)を有するビス-ヘキサフルオロエーテルから選ばれることを特徴とする光増感剤組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/029 ,  C08K 3/16 KKQ ,  C08L 77/06 ,  G03F 7/016 501 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027