特許
J-GLOBAL ID：200903004322121297
ボンディングツールおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-104811
公開番号（公開出願番号）：特開平5-299479
出願日： 1992年04月23日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】 シャンク材にコーティング皮膜を設けて圧着のための先端面を構成したボンディングツールにおいて、膜の剥離や亀裂の発生が起こりにくいツールを提供する。【構成】 工具基体11の表面を気相合成ダイヤモンドを含む皮膜14で覆ってなるボンディングツール10において、皮膜14で少なくとも圧着のための先端面を構成する部分13は気相合成ダイヤモンドからなり、かつ、皮膜14で工具基体11と密着する部分12は金属またはセラミックスと気相合成ダイヤモンドが混在しているツール。
請求項（抜粋）：
工具基体の表面を気相合成された多結晶ダイヤモンドを含む皮膜で覆ってなるボンディングツールにおいて、前記皮膜で少なくとも圧着のための先端面を構成する部分は気相合成ダイヤモンドからなり、かつ前記皮膜で前記工具基体との密着に関与する部分は、前記多結晶ダイヤモンドの含有量が減じられているとともに、ダイヤモンドよりも前記工具基体に近い熱膨張係数を有する金属およびセラミックスの少なくともいずれかを含有する、ボンディングツール。
IPC (2件)：
H01L 21/603
, H01L 21/60 311
