特許

J-GLOBAL ID：200903004325199262

減圧槽

発明者： 内野 正英
出願人/特許権者： ジャパン・フィールド株式会社
代理人 (1件)： 清水 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-160295
公開番号（公開出願番号）：特開平9-014444
出願日： 1995年06月27日
公開日（公表日）： 1997年01月14日
要約：

【要約】【目的】 廉価な材質によって優れた耐溶剤性を有するとともに、耐減圧性を有し変形防止のできる減圧槽を得る。【構成】 目的とする減圧に対して単独では耐える強度を有しない内槽1を形成する。そして、この内槽1の外周を、目的とする減圧に対して充分な強度を有する外槽2にて被覆するとともに内槽1または外槽2若しくは内槽1と外槽2の物品出入用の開口部14を、蓋体6にて被覆密閉し、内槽1内に減圧部8を形成する。

請求項（抜粋）：

目的とする減圧に対して単独では耐える強度を有しない内槽の外周を、目的とする減圧に対して充分な強度を有する外槽にて被覆するとともに内槽または外槽若しくは内槽と外槽の物品出入用の開口部を、蓋体にて被覆密閉し、内槽内に減圧部を形成した事を特徴とする減圧槽。

IPC (3件)：

F16J 12/00 ,  B01J 3/00 ,  B08B 3/10

FI (3件)：

F16J 12/00 P ,  B01J 3/00 K ,  B08B 3/10 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 真空容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-238387   出願人：株式会社プラズマシステム
• 特開平3-030329