特許
J-GLOBAL ID:200903004325391910

静電チャックの電圧印加法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-008390
公開番号(公開出願番号):特開2004-221402
出願日: 2003年01月16日
公開日(公表日): 2004年08月05日
要約:
【課題】放電が発生せず、大気中から高真空の処理領域まで吸着物が安定して保持、固定できる静電チャックの電圧印加法を提供する。【解決手段】吸着物を保持、固定又は搬送する静電チャックに電圧を印加する方法において、大気中でスイッチを短絡して電圧を印加した後、真空引き中に少なくとも一度スイッチを開放し、より高真空の時点で再度スイッチを短絡して電圧を印加することを特徴とする静電チャックの電圧印加法。【選択図】 なし
請求項1:
吸着物を保持、固定又は搬送する静電チャックに電圧を印加する方法において、大気中でスイッチを短絡して電圧を印加した後、真空引き中に少なくとも一度スイッチを開放し、より高真空の時点で再度スイッチを短絡して電圧を印加することを特徴とする静電チャックの電圧印加法。
IPC (2件):
H01L21/68 ,  H02N13/00
FI (2件):
H01L21/68 R ,  H02N13/00 D
Fターム (5件):
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA17 ,  5F031NA05

前のページに戻る