特許

J-GLOBAL ID：200903004327244966

走査型プローブ顕微鏡

発明者： 河野 真貴子 ,  細木 茂行
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-330199
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174461
出願日： 1992年12月10日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【構成】3軸の微動機構4,探針5,Z軸の粗動機構6,X軸の粗動機構7およびY軸の粗動機構(図示略)を備える。【効果】走査プローブ顕微鏡においてゲインを下げることなく、正確に同じ視野を観察しながら傾斜の補正が行える。また、正の電圧のみを用いて斜めに、しかも微動機構のフルスケールの範囲を生かすことができ、かつ、演算を必要としないので、高速走査もできる。

請求項（抜粋）：

試料もしくはプローブを微小駆動せしめる3軸微動駆動機構と、試料のZ軸方向傾斜成分を吸収するためのZ軸方向駆動機構を有してなる走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01B 21/30 ,  H01J 37/28