特許
J-GLOBAL ID：200903004329426492
ガス拡大整流器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-317272
公開番号（公開出願番号）：特開平11-152572
出願日： 1997年11月18日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：
【要約】【課題】 省スペースでありながら、逆流を抑え、減圧状態や流速が速い場合でも確実に、細い配管から導入されるガスを均一に広げる。【解決手段】 細い配管に接続される導入口と扁平な排出口とを有し、その導入口と排出口との間が扁平な通路で構成され、かつその扁平な通路の高さが端や折れ曲がり部分を除き一様で、かつその扁平な通路上における導入口の中心点と排出口の任意の点との最短距離がすべて±10%以内で等しいガス拡大整流器。導入口と排出口のそれぞれの圧力を一様にするためには、導入口と排出口との間の任意の最短経路においてすべて等流速でなければならない。したがって排出口すべての点で、排出されるガスの流速は等しく均一となる。
請求項（抜粋）：
配管に接続されるガス導入口と、一方向を向いた扁平なガス排出口とを有し、そのガス導入口とガス排出口との間が扁平なガス通路で構成され、かつその扁平なガス通路の高さが端や通路の折れ曲がり部分を除き一様で、かつその扁平なガス通路上におけるガス導入口の中心点とガス排出口の任意の点との最短距離がすべて±10%以内で等しいことを特徴とするガス拡大整流器。
IPC (4件)：
C23C 16/44
, C30B 25/14
, H01L 21/205
, H01L 21/31
C23C 16/44 D
, C30B 25/14
, H01L 21/205
, H01L 21/31 B
