特許
J-GLOBAL ID:200903004331235262

光学装置及びそれを有する露光装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高梨 幸雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-221893
公開番号(公開出願番号):特開2003-037040
出願日: 2001年07月23日
公開日(公表日): 2003年02月07日
要約:
【要約】【課題】 光学素子が収納される筐体内から不必要なガスを放出し、経時的に安定した光学性能が得られる光学装置及びそれを有する露光装置を得ること。【解決手段】 筐体内に保持部材を用いて光学部材を保持し、該光学素子を介した光束を利用する光学装置において、該保持部材を含む空間aと保持部材を含まない空間bとを仕切り板で隔離し、該空間aの圧力をP2、該空間bの圧力をP1とするとき圧力制御手段で、P2>P1となるようにしている。
請求項(抜粋):
筐体内に保持材料を用いて光学素子を保持し、該光学素子を介した光束を利用する光学装置において、該保持材料を含む空間aと保持材料を含まない空間bとを仕切り板で隔離し、該空間aの圧力をP2、該空間bの圧力をP1とするとき圧力制御手段でP2 IPC (4件):
H01L 21/027 ,  G02B 7/00 ,  G02B 7/02 ,  G03F 7/20 521
FI (5件):
G02B 7/00 Z ,  G02B 7/02 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 F ,  H01L 21/30 515 D
Fターム (5件):
2H044AD03 ,  5F046AA22 ,  5F046CB25 ,  5F046DA12 ,  5F046DA27

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