特許
J-GLOBAL ID:200903004331962628

位置検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-252869
公開番号(公開出願番号):特開平7-110209
出願日: 1993年10月08日
公開日(公表日): 1995年04月25日
要約:
【要約】【目的】 光位置検出素子を使用した位置検出装置において、素子の暗電流を除き、位置精度の高い位置検出装置を提供することを目的とする。【構成】 光位置検出素子のアノードと増幅器との間にバイパス用のダイオードを接続し、そのダイオードに逆バイアス電圧を印加して、光位置検出素子の暗電流相当分をダイオードを介して接地することにより、増幅器には信号電流のみが入力される。
請求項(抜粋):
逆バイアス電圧が印加されるカソードと、該カソード上に形成されるフォトダイオード及び抵抗膜と、該抵抗膜上に配置され入射光に応じた光電流を出力する対向する一対のアノードとを備えた光位置検出素子から出力される光電流に基づき、入射した光の位置を検出する位置検出装置において、前記光位置検出素子のアノードにダイオードが接続され、該ダイオードに逆バイアス電圧が印加されていることを特徴とする位置検出装置。
IPC (2件):
G01B 11/00 ,  H01L 31/16

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