特許
J-GLOBAL ID：200903004333984572
誘導結合プラズマ質量分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-175427
公開番号（公開出願番号）：特開平6-020642
出願日： 1992年07月02日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：
【要約】【目的】 高感度な誘導結合プラズマ質量分析装置を実現する。【構成】 高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起し生じたイオンをスキマコーン9より引出し、イオン光学系14により収束させ、二次電子増倍管19に導いて検出することにより気体試料中の被測定元素を分析する誘導結合プラズマ質量分析装置において、スキマコーン9より引き出されたイオンがイオン光学系14に入射する前の段階に、イオン質量によるイオンの粗分離を行う質量分離手段30を設け、測定対象質量以外のイオンを粗分離することを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
請求項（抜粋）：
高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起し生じたイオンをスキマコーンより引出し、イオン光学系により収束させ、二次電子増倍管に導いて検出することにより気体試料中の被測定元素を分析する誘導結合プラズマ質量分析装置において、スキマコーンより引き出されたイオンがイオン光学系に入射する前の段階に、イオン質量によるイオンの粗分離を行う質量分離手段を設け、測定対象質量以外のイオンを粗分離することを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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