特許
J-GLOBAL ID：200903004337018166
基板保持装置、基板保持方法及び露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-198039
公開番号（公開出願番号）：特開平10-041376
出願日： 1996年07月26日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 基板保持時に基板との接触面積を広く確保し、かつ基板を剥離させる際に生ずる剥離帯電を減少させる。【解決手段】 基板載置面50の一部を可動部材55a〜55eによって構成する。基板6を真空吸着して保持する時には、可動部材を基板載置面よりわずかに内側の第1位置に位置づけ、真空吸着溝51a〜51dを真空排気して基板を吸引する。ベルヌーイチャックが働いて、基板は基板載置面に瞬時に完全密着する。基板載置面から基板を剥離させる時は、剥離に先だって可動部材の表面57を第1位置よりさらに内側の第2位置まで下降させ、予め基板と基板載置面との間の接触面積を減少させておく。その後、センターアップ38により基板を持ち上げて、基板載置面から基板を剥離する。
請求項（抜粋）：
真空吸着溝が設けられた基板載置面と、前記真空吸着溝を真空排気するための真空排気手段とを有する基板保持装置において、前記基板載置面の一部を構成し前記基板載置面に垂直な方向に可動な可動部材と、前記可動部材の表面を前記基板載置面と同一平面又はそれよりわずかに内側の第1位置と、前記第1位置より更に内側の第2位置とに選択的に位置づけるための駆動手段と、前記駆動手段及び前記真空排気手段を制御する制御手段とを備えることを特徴とする基板保持装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 15/06
, G03F 9/00
, H01L 21/027
H01L 21/68 P
, B25J 15/06 B
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 503 C
