特許

J-GLOBAL ID：200903004342896023

ウエハーホルダ

発明者： 齋木 孝志 ,  谷 了
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-168563
公開番号（公開出願番号）：特開平5-021582
出願日： 1991年07月10日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：

【要約】【目的】 ウエハーホルダに関し,小さな径のウエハーをそれより大きい径の製造ラインで流すことを可能にするウエハーホルダの提供を目的とする。【構成】 被保持ウエハー4より径の大きいウエハーの外周に等しい外周及び被保持ウエハー4が収容可能な内周を有するホルダ外枠1と, ホルダ外枠1の内周に固定された少なくとも3組のウエハー保持部を有し,各ウエハー保持部は被保持ウエハー4の端を支える爪3と, 爪3とホルダ外枠1を接続する金具2を有するウエハーホルダにより構成する。また,ホルダ外枠1及び爪3は石英製であるように構成する。

請求項（抜粋）：

被保持ウエハー(4) より径の大きいウエハーの外周に等しい外周及び該被保持ウエハー(4) が収容可能な内周を有するホルダ外枠(1) と, 該ホルダ外枠(1) の内周に固定された少なくとも3組のウエハー保持部を有し,各ウエハー保持部は該被保持ウエハー(4) の端を支える爪(3) と, 該爪(3) と該ホルダ外枠(1) を接続する金具(2) を有することを特徴とするウエハーホルダ。