特許
J-GLOBAL ID:200903004342949151

共焦点レーザ走査型光学顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 奈良 武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-272221
公開番号(公開出願番号):特開2001-091847
出願日: 1999年09月27日
公開日(公表日): 2001年04月06日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、回折の影響を無くし、輪帯状照明による超解像効果を確実に発揮させることができる共焦点レーザ走査型光学顕微鏡を提供する。【解決手段】 レーザ光源1と、レーザ光源1からの出射光を試料に対して集束させる対物レンズ8と、前記対物レンズ8の瞳と共役な位置に配置され、前記対物レンズを介したレーザ光を前記試料表面に沿って相対的に走査させるスキャナ5と、前記対物レンズ8の集光位置と共役な位置に配置されたピンホール板11と、前記ピンホール11板を通過する光の強度を検出する光検出器12とを備えた共焦点レーザ走査型光学顕微鏡であって、レーザ光源1からのレーザ光を受光し、輪帯状光束を生成する輪帯マスク3と、この輪帯マスク3により生成した輪帯状光束を前記スキャナ5の走査面に投影する投影光学系18とを設けたものである。
請求項(抜粋):
レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザ光を試料に対して集束させる対物レンズと、前記対物レンズの集光位置と共役な位置に配置され、前記対物レンズを介したレーザ光を前記試料表面に沿って相対的に走査させる光走査機構と、前記対物レンズの集光位置と共役な位置に配置された微小開口部と、前記微小開口部を通過する光の強度を検出する光検出器と、を備えた共焦点レーザ走査型光学顕微鏡であって、前記レーザ光源からのレーザ光を受光し、輪帯状光束を生成する輪帯状光束生成手段と、この輪帯状光束生成手段により生成した輪帯状光束を前記光走査機構の走査面に投影する投影光学系と、を設けたことを特徴とする共焦点レーザ走査型光学顕微鏡。
IPC (3件):
G02B 21/00 ,  G02B 21/18 ,  G02B 27/58
FI (3件):
G02B 21/00 ,  G02B 21/18 ,  G02B 27/58
Fターム (7件):
2H052AA08 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC17 ,  2H052AC29 ,  2H052AC34 ,  2H052AF06
引用特許:
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る