特許
J-GLOBAL ID：200903004354028639
容量型加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤谷 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-102304
公開番号（公開出願番号）：特開平5-273231
出願日： 1992年03月27日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：
【要約】【目的】 正確に故障判定可能な容量型加速度センサを提供すること。【構成】 容量型加速度センサ10はシリコン基板20とガラス基板30とが陽極接合され、両基板に形成された可動電極21と固定電極31との容量変化により加速度が測定される。又、可動電極21面上には陽極接合時に分極しない導電性薄膜41a及び分極がごく弱い絶縁性薄膜41bから成るストッパ41が形成されている。通常測定前に診断用電極を兼ねた可動電極21と診断用電極32との電極間に電圧を印加して可動電極21と固定電極31との容量変化による出力変動が測定される。診断用電極間の微小ギャップが少なくされているため故障チェック時の感度が向上する。又、分極が殆どないため故障チェックのための電圧の印加に対する電極間の変位量が大きくなり正確な故障判定が可能となる。
請求項（抜粋）：
一方の基板に形成された可動電極と他方の基板に形成された固定電極とが微小ギャップを有するように対向させてそれら両基板を接合し、前記両電極間の容量の変化により加速度を測定する容量型加速度センサにおいて、前記可動電極と前記固定電極との微小ギャップを共有し対向させて前記両基板に形成した一対の診断用電極と、少なくとも一方の前記診断用電極面上に導電性材料にて該診断用電極と電気的に短絡させて形成した導電性薄膜と、前記導電性薄膜面上又はその周囲の前記診断用電極面上で該導電性薄膜よりも対向する電極に接近するように形成された絶縁性薄膜とを備えたことを特徴とする容量型加速度センサ。
IPC (2件)：
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