特許
J-GLOBAL ID:200903004360809782

スパッタリングターゲット、それを用いた相変化光記録媒体用界面層膜とその製造方法、および相変化光記録媒体

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 堀口 浩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-249554
公開番号(公開出願番号):特開2008-071424
出願日: 2006年09月14日
公開日(公表日): 2008年03月27日
要約:
【課題】相変化記録媒体の界面層膜の成膜等に用いられるスパッタリングターゲットにおいて、結晶化促進機能、光学的特性、記録膜との密着性をもった金属化合物膜の成膜を可能にする。【解決手段】スパッタリングターゲットは、((M1-aSia)1-bCrb)(O1-xNx)z(式中、MはZrおよびHfから選ばれる少なくとも1種の元素を示し、a、b、xおよびzは0.1≦a≦0.6、0.1≦b≦0.5、0 請求項(抜粋):
一般式:((M1-aSia)1-bCrb)(O1-xNx)z (式中、MはZrおよびHfから選ばれる少なくとも1種の元素を示し、a、b、xおよびzは0.1≦a≦0.6、0.1≦b≦0.5、0 IPC (3件):
G11B 7/26 ,  G11B 7/254 ,  G11B 7/257
FI (2件):
G11B7/26 531 ,  G11B7/24 534N
Fターム (4件):
5D029LA17 ,  5D121AA04 ,  5D121EE09 ,  5D121EE17
引用特許:
出願人引用 (2件)

前のページに戻る