特許

J-GLOBAL ID：200903004360809782

スパッタリングターゲット、それを用いた相変化光記録媒体用界面層膜とその製造方法、および相変化光記録媒体

発明者： 坂本 敏也 ,  高阪 泰郎 ,  新田 晃久
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  東芝マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 堀口 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-249554
公開番号（公開出願番号）：特開2008-071424
出願日： 2006年09月14日
公開日（公表日）： 2008年03月27日
要約：

【課題】相変化記録媒体の界面層膜の成膜等に用いられるスパッタリングターゲットにおいて、結晶化促進機能、光学的特性、記録膜との密着性をもった金属化合物膜の成膜を可能にする。【解決手段】スパッタリングターゲットは、((M1-aSia)1-bCrb)(O1-xNx)z(式中、MはZrおよびHfから選ばれる少なくとも1種の元素を示し、a、b、xおよびzは0.1≦a≦0.6、0.1≦b≦0.5、0<x≦0.7、0.5≦z≦2.0(原子比)を満足する数である) で表される組成を有するこのようなスパッタリングターゲットを用いて成膜した金属酸窒化膜は、相変化記録媒体1の界面層4、6等に使用される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

一般式:((M1-aSia)1-bCrb)(O1-xNx)z (式中、MはZrおよびHfから選ばれる少なくとも1種の元素を示し、a、b、xおよびzは0.1≦a≦0.6、0.1≦b≦0.5、0<x≦0.7、0.5≦z≦2.0(原子比)を満足する数である) で表される組成を有することを特徴とするスパッタリングターゲット。

IPC (3件)：

G11B 7/26 ,  G11B 7/254 ,  G11B 7/257

FI (2件)：

G11B7/26 531 ,  G11B7/24 534N

Fターム (4件)：

5D029LA17 ,  5D121AA04 ,  5D121EE09 ,  5D121EE17

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 光学的情報記録媒体とその製造方法ならびに記録再生消去方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-184132   出願人：松下電器産業株式会社
• 相変化光記録媒体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-008682   出願人：東ソー株式会社