特許

J-GLOBAL ID：200903004361362102

マウント板へのウエ-ハ接着方法及び装置

発明者： 寺本 隆 ,  郭 誉綱
出願人/特許権者： 株式会社エンヤシステム
代理人 (1件)： 亀川 義示
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-318340
公開番号（公開出願番号）：特開2000-127034
出願日： 1998年10月21日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】【課題】 接着剤を塗布したウエ-ハをマウント板に接着する際、ウエ-ハとマウント板間に空気を取り込まないようにすると共にウエ-ハのエッジまで確実にマウント板に接着できるようにする。【解決手段】 中央が下方に突出する中空のパッド(12)内に加圧流体を導入する。このパッド(12)により、パッド内をほぼ定圧に保持しつつウエ-ハ(3)を中央から外周に向かって徐々にマウント板(1)に押しつける。ウエ-ハ(3)の全面にパッド(12)が接触したら、パッド内の加圧流体を流出させ、パッドの背面にウエ-ハの全面を覆う大きさの案内板(23)を当て、パッド(12)と案内板(23)でウエ-ハを押圧する。これにより、ウエ-ハのエッジまで確実にマウント板に接着する。

請求項（抜粋）：

接着剤を塗布したウエ-ハをマウント板に載置し、該ウエ-ハを加圧流体が導入され中央が下方に突出する有弾性の中空のパッドで押圧してマウント板に接着する方法において、上記加圧流体によりパッド内を定圧に保持しつつウエ-ハの中央から外周に向けて徐々にパッドを接触させ該ウエ-ハの全面にパッドが接触した後、パッド内の加圧流体を流出して該パッドの背面を案内板で支持し、該案内板と上記パッドにより上記ウエ-ハを押圧することを特徴とするマウント板へのウエ-ハ接着方法。

IPC (3件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24B 37/04 J ,  H01L 21/304 622 J ,  H01L 21/304 622 K

Fターム (3件)：

3C058AB04 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17