特許
J-GLOBAL ID:200903004361459386

距離測定用干渉計が測定した距離をツ-・モ-ドで計数する方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木幡 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-158031
公開番号(公開出願番号):特開平7-091909
出願日: 1993年06月04日
公開日(公表日): 1995年04月07日
要約:
【要約】【目的】非安定HeNeレーザーを使用して動作する距離測定用の干渉計が測定した距離をツー・モードで計数する方法を提供することである。【構成】 光源として非安定HeNeレーザーを使用して動作する距離測定用の干渉計が測定した距離をツー・モードで計数する方法は、レーザーを基準ビームと測定用ビームとに分割することと、干渉縞パターンを形成することと、分離された干渉パターンを検出することと、電気的なパルスをアクティブ・モ-ドで計数し、加重平均化することと、2つの再結合されたビームを互いに90 の角度ぶんシフトさせた状態でアップ/ダウン計数を行なうこととの諸工程をへて実施される。
請求項(抜粋):
光源として非安定ツ-・モ-ドの非偏光レ-ザ-を使用して作動する距離測定用干渉計が測定した距離を計数する方法であって、直交するs偏光とp偏光をツ-・モ-ドで包有した光のビ-ムが非偏光ビ-ム・スプリッタ-を使用して基準ビ-ムと測定用ビ-ムに分割されることと、基準ビ-ムと測定用ビ-ムが再結合され、2つの偏光sとpそれぞれについて干渉縞のパタ-ンが形成されることと、再結合されたビ-ムを適切に向きぎめされた偏光ビ-ム・スプリッタ-を通過させることにより、s干渉パタ-ンとp干渉パタ-ンが光学的に分離されることと、非偏光メイン・ビ-ム・スプリッタ-に入る前にレ-ザ-・ビ-ムの一部をスプリットし、別の適切に向きぎめされた偏光ビ-ム・スプリッタ-を通過させてモ-ド・モニタ-用の信号を作る2つのフォトデテクタ-に到達させることによりsモ-ドとpモ-ドの強さがモニタ-されることと、干渉計の測定用ビ-ムと基準ビ-ムとの間の光学的な径路の差の変化に従って正弦波的に変化する電気的な信号を作るフォトデテクタ-を使用して分離された干渉パタ-ンが検出されることと、レ-ザ-が放射されたときに両方のモ-ドが存在しているときは、電気的なパルスが各モ-ドで計数されるとともに、加重平均化されるか、またはレ-ザ-が放射されたときに一方のモ-ドだけが存在しているときは、電気的なパルスがアクティブ・モ-ドで計数されることと、第2の再結合されたビ-ムの径路内に第2のツ-・モ-ド計数装置を設けるとともに、干渉パタ-ンにあわせて2つの再結合されたビ-ムの径路内に光学的に配置し、互いに90 の角度ぶんシフトさせることによりアップ/ダウン計数を行うこととを特徴とする方法。

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