特許
J-GLOBAL ID：200903004363956956
振れセンサを組み込んだカンチレバー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
坂口 博 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-511012
公開番号（公開出願番号）：特表平10-500220
出願日： 1995年09月01日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：
【要約】走査型プローブ顕微鏡用の及び他の力又は振れ測定装置用のカンチレバーが開示される。カンチレバーは、くびれ部分(62)内に少なくとも1つの歪み感知素子を組み込まれている。カンチレバーは、そのカンチレバーの振れ全体に対するくびれ部分の関与が小さくなるように、くびれ部分の長さ方向の範囲を小さくするように既知のカンチレバーを改良したものである。カンチレバーの設計は、垂直面、又は水平面、又はその両方の面において実質的に三角形の断面を持つようにビーム(63)を適合させることによって更に改良される。
請求項（抜粋）：
横方向の寸法を小さくされ、又はヤング率を小さくされたくびれ部分(12、62)有するカンチレバーにして、該カンチレバーと完全に接触し或いは該カンチレバーに組み込まれた層を形成する少なくとも1つの歪み感知素子(451、452、453)を組み込まれたカンチレバーにおいて、 前記くびれ部分の長さ(L1)は前記カンチレバーの全体の長さの1/5よりも小さく且つその比nλ/εが9よりも小さく、 nは前記カンチレバーの形状に従って1乃至10の範囲における幾何学的係数であり、 λは前記長さL1と前記くびれ部分の残りの長さとの比として定義された長さ方向のくびれ係数であり、 εは前記くびれ部分及び前記カンチレバーの残り部分における厚さの比の3乗、幅の比、及び前記カンチレバーのヤング率の比の積として定義された横方向のくびれ係数である ことを特徴とするカンチレバー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
