特許
J-GLOBAL ID：200903004367741806
酸化物超電導膜の製法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾関 弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-087566
公開番号（公開出願番号）：特開平5-229822
出願日： 1991年03月26日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】ゾル-ゲル法による超電導膜の製造において酸化物超電導膜の形成元素を含む溶液層をゲル化した後、加熱時にゲル層に発生する発泡を解消すること。【構成】基材上に形成した上記溶液層をゲル化した後、赤外線をパルス的に照射してゲル化層を順次熱分解をすること。
請求項１：
ゾル-ゲル法による超電導膜の製造法において、超電導膜を形成すべき原料有機又は無機金属化合物の溶媒溶液を基材に施与して溶媒溶液層を基材上に形成せしめ、これを乾燥によりゲル層とした後に、加熱して上記化合物を熱分解するに際し、この熱分解を赤外線をパルス的に照射して該ゲル層の表面から順次内層に向かって段階的に熱分解を行うことを特徴とする酸化物超電導膜の製法。
IPC (5件)：
C01G 3/00 ZAA
, C01G 1/00
, H01B 13/00 565
, H01L 39/24 ZAA
, H01B 12/06 ZAA
