特許

J-GLOBAL ID：200903004371043994

パルスレーザ発振装置

発明者： 日比野 正
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-081424
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297473
出願日： 1994年04月20日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 主放電消滅後の主放電電極間の反転再起電圧を低減し、主放電電極の長寿命化を可能とするパルスレ-ザ発振装置を提供する。【構成】 所定ガス中に一対の主放電電極から成る主放電電極部と、この主放電電極部と並列接続され主放電電極間を予備電離状態とする予備電離状態発生部とを配置して成る放電部にパルス電圧を印加しパルスレ-ザ発振を行う。主放電電極部と並列に、この主放電電極部に発生した主放電消滅後主放電電極間に逆方向に発生する電圧を低減する回路要素を接続する。

請求項（抜粋）：

所定ガス中に一対の主放電電極から成る主放電電極部と、この主放電電極部と並列接続され前記主放電電極間を予備電離状態とする予備電離状態発生部とを配置して成る放電部にパルス電圧を印加しパルスレ-ザ発振を行うパルスレ-ザ発振装置において、前記主放電電極部と並列接続され、この主放電電極部に発生した主放電消滅後前記主放電電極間に逆方向に発生する電圧を低減する回路要素を接続することを特徴とするパルスレ-ザ発振装置。