特許
J-GLOBAL ID：200903004376405290
自動露光機の露光枠部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-197106
公開番号（公開出願番号）：特開平7-049572
出願日： 1993年08月09日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：
【要約】【目的】露光マスクとして使用されるフィルムの交換が容易な自動露光機の露光枠部材を提供する。【構成】露光枠部材50は、紫外線が透過する材料からなる取付け板52及びその周囲を着脱自在に支持する支持枠54とを具備する。支持枠54には、複数のクランプ56が配設され、支持枠54の支持面62との間で、取付け板52の周囲を挟み込んで固定する。支持枠54にはまた、取付け板52の着脱が容易となるように、複数の可動式サイドガイド67が配設される。取付け板52の下面全周囲には、平型のパッキン86が配設され、被処理基板の載置台18と協働して、密閉空間を形成する。この密閉空間が排気され、取付け板52即ちフィルムが基板に対して密着した状態で露光が実施される。
請求項（抜粋）：
露光マスクとして使用されるフィルムを取付けるための自動露光機の露光枠部材であって、紫外線が透過する材料からなる主部分を有し且つ前記フィルムが貼り付けられる取付け板と、前記自動露光機内に可動式に配設され且つ前記取付け板の主部分を覆わない状態で前記取付け板の周囲を着脱自在に支持する支持枠と、前記取付け板と接触するため前記支持枠に形成された支持面と、前記支持面との間で前記取付け板の周囲を挟み込んで固定するように前記支持枠上に配設された開閉式のクランプと、を具備する露光枠部材。
IPC (5件)：
G03F 7/20
, G03B 27/32
, G03B 27/60
, H01L 21/027
, H05K 3/00
