特許
J-GLOBAL ID：200903004385200707
ウエハ搬送フォークの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-252381
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086372
出願日： 1993年09月14日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【構成】 ウエハ搬送フォークの上面に設けた支持突起にウエハを載置して搬送するウエハ搬送フォークにおいて、ウエハ搬送フォーク1に設けたねじ穴7と、このねじ穴のねじ溝に塗布した接着剤8と、ウエハ搬送フォークのねじ穴の径より大きな径の支持突起とを設け、ウエハ搬送フォークのねじ穴に支持突起をねじ込んで支持突起周面にねじ溝を塑造してウエハ搬送フォークに支持突起をねじ込み固定するようにしている。【効果】 本発明によれば、ウエハ搬送フォークに支持突起をねじ結合と接着結合によりウエハ搬送フォークに支持突起を強固に植設することが出来、支持突起が外れたり、倒れたりすることなく、ウエハ搬送フォーク上のウエハがずれ落ちることはない。
請求項（抜粋）：
ウエハ搬送フォークの上面に設けた支持突起にウエハを載置して搬送するウエハ搬送フォークにおいて、ウエハ搬送フォークに設けたねじ穴と、このねじ穴のねじ溝に塗布した接着剤と、ウエハ搬送フォークのねじ穴の径より大きな径の支持突起とを設け、ウエハ搬送フォークのねじ穴のねじ溝に支持突起をねじ込んで支持突起周面にねじ溝を塑造してウエハ搬送フォークに支持突起をねじ込み固定したことを特徴とするウエハ搬送フォークの製造方法
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, C23C 14/56
