特許
J-GLOBAL ID：200903004387679880
試験装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
遠山 勉 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-331663
公開番号（公開出願番号）：特開平11-264776
出願日： 1998年11月20日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：
【要約】【課題】 工具移動の側方成分をほぼなくした摩擦のない試験装置を提供する。【解決手段】半導体装置の電線接着部を試験するための装置は、ベースプレート(11)上の異なった長さの2つの片持ち式アーム(14a、14b)と、アームの自由端部の試験ヘッド(15)を含む。この構造は、予想たわみ範囲全体において試験ヘッドの試験フック(32)のほぼ摩擦のない直線移動を可能にする。空気圧または磁気式(21、22)の摩擦のないダンパが開示されている。試験フック(32)は試験ヘッドのステップモータ(35)で向きを定めることができる。
請求項（抜粋）：
半導体装置とそれの導電体の間の接着部の完全性を試験するために、ほぼ同一方向に延出した2つの片持ち式アームを有するベースプレートと、該アームの自由端部に作動固定された試験ヘッドと、前記アームの平面上での前記ベースプレートに対する前記試験ヘッドの移動時の前記アームの力たわみ特性を測定する測定手段を含む装置であって、前記アームは有効長さが異なっており、前記試験ヘッドは、有効長さが長い方のアームの一方側に試験基準面を有しており、有効長さが短い方のアームは有効長さが長い方のアームの反対側に位置しており、前記アームのわずかなたわみによって前記試験基準面が前記試験ヘッドの延出方向にほぼ直交する方向に移動するように釣り合わせた装置。
引用特許：
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