特許

J-GLOBAL ID：200903004392676946

ラジアルギャップ型静電モータ及びその製造方法

発明者： 島内 岳明 ,  南谷 孝典 ,  町田 任康 ,  鈴木 一男
出願人/特許権者： シチズン時計株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-052863
公開番号（公開出願番号）：特開平10-248271
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】 低電圧駆動で回転力の大きいラジアルギャップ型静電モータを提供する。【解決手段】 ロータ電極の外周面に第1の犠牲層を形成し、前記第1の犠牲層の外周面にステータ電極を形成する。また前記ロータ電極を支持する回転軸の外周面に第2の犠牲層を形成し、前記回転軸を第2の犠牲層を介して挟み込む様にハウジングを形成し、前記ステータ電極と前記ハウジングとの間に樹脂を流し込み前記ステータ電極と前記ハウジングとを固定する。さらに前記第1の犠牲層と前記第2の犠牲層とをエッチングにより除去し前記ロータ電極と前記ステータ電極とを分離する。

請求項（抜粋）：

回転可能なロータ電極と、前記ロータ電極に対抗配置された複数のステータ電極と、前記ロータ電極を支持する回転軸と、前記回転軸を支持する軸受けと、前記複数ステータ電極と軸受けとを支持してモータの外殻を形成するハウジングとを有するラジアルギャップ型静電モータの製造方法において、導電性材料からなるロータ電極の外周面に第1の犠牲層を前記ロータ電極とステータ電極との微小間隔に相当する厚さに形成する行程と、回転軸の外周面に第2の犠牲層を軸受けのクリアランスに相当する厚さに形成する工程と、前記ロータ電極の外周面に第1の犠牲層を介して金属薄膜層を形成する行程と、前記金属薄膜層の表面にフォトリソグラフィー法により形成するレジストパターンをエッチングマスクとして用いて前記金属薄膜層をエッチングすることによってステータ電極を形成する工程と、前記回転軸を第2の犠牲層を介して挟み込む様にハウジングを形成する工程と、前記ステータ電極と前記ハウジングとの間に樹脂を流し込み前記ステータ電極と前記ハウジングとを固定する工程と、前記第1の犠牲層と前記第2の犠牲層とをエッチングにより除去し前記ロータ電極と前記ステータ電極とを分離する工程とを含むことを特徴とするラジアルギャップ型静電モータの製造方法。