特許
J-GLOBAL ID:200903004394193780
透明体インゴットの異物検出装置およびこれを用いた透明体の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
波多野 久 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-199461
公開番号(公開出願番号):特開2001-027613
出願日: 1999年07月13日
公開日(公表日): 2001年01月30日
要約:
【要約】【課題】効率よく確実に異物の検出が行える透明体インゴットの異物検出装置およびこれを用いた生産性の高い透明体の製造方法を提供する。【解決手段】被検査透明体インゴットIgが収納されこの透明体インゴットIgと同等の屈折率を有する透明窓部材2a1、2b1で形成された窓部2が設けられた容器3と、この容器3に入れられ、透明体インゴットIgと同等の屈折率を有する透明液体4と、透明体インゴットIgを照射する検査光発生手段5と、撮像する撮像手段6と、透明体インゴットIgの撮像位置を移動させるインゴット移動手段7と、撮像手段6により撮像される位置を移動するように撮像手段7を移動させるカメラ移動手段8と、透明体インゴットIgの異物の異物画像信号を異物情報にする画像処理手段9と、異物情報を出力する出力手段10と、各手段を制御する制御手段11とを有する透明体インゴットの異物検出装置。また、この装置を用いた透明体の製造方法。
請求項(抜粋):
検査対象の透明体インゴットが収納されこの透明体インゴットと同等の屈折率を有する透明窓部材で形成された窓部が設けられた容器と、透明体インゴットが没するように前記収納容器に入れられ、透明体インゴットと同等の屈折率を有する透明液体と、透明体インゴットに検査光を照射する検査光発生手段と、透明体インゴットを撮像する撮像手段と、透明体インゴットが前記透明液体に没した状態で撮像手段により撮像される透明体インゴットの撮像位置を移動させる移動手段と、前記撮像手段により撮像される位置を移動するように撮像手段を移動させる移動手段と、前記撮像手段により撮像された透明体インゴットに存在する異物の異物画像信号を受け、この異物画像信号を異物情報にする画像処理手段と、この画像処理手段で求めた異物情報を出力する出力手段と、前記撮像手段、移動手段、画像処理手段、出力手段を制御する制御手段とを有することを特徴とする透明体インゴットの異物検出装置。
Fターム (13件):
2G051AA73
, 2G051AA90
, 2G051AB01
, 2G051AB02
, 2G051BA20
, 2G051BB17
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051CD04
, 2G051DA06
, 2G051EA14
, 2G051EA16
, 2G051FA10
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