特許
J-GLOBAL ID：200903004399398208
耐熱性感光材料
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-151966
公開番号（公開出願番号）：特開平5-339373
出願日： 1992年06月11日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】 低温硬化性に優れるとともに、膜強度、耐熱性、接着性、厚膜形成性及び像形成性を合わせ持った感光性樹脂組成物を形成しうる耐熱性感光材料を提供する。【構成】 一般式(I)で表される繰り返し単位を有する溶媒可溶性のポリイミドにフラン誘導体、ピラン誘導体又はピロン誘導体を反応させて得られる耐熱性感光材料。【化1】(式中、R1は4価の有機基、R2は(2+l)価の有機基、R3は2価の有機基であり、m、nは上記の各繰り返し単位のモル数を示し、n/mは1/99〜100/0(モル比)の範囲とされ、lは1〜4の整数を表す)
請求項（抜粋）：
一般式(I)で表される繰り返し単位を有する溶媒可溶性のポリイミドにフラン誘導体、ピラン誘導体又はピロン誘導体を反応させて得られる耐熱性感光材料。【化1】(式中、R1は4価の有機基、R2は(2+l)価の有機基、R3は2価の有機基であり、m、nは上記の各繰り返し単位のモル数を示し、n/mは1/99〜100/0(モル比)の範囲とされ、lは1〜4の整数を表す)
IPC (9件)：
C08G 73/10 NTF
, G03F 7/004 501
, G03F 7/027 514
, G03F 7/028
, G03F 7/038 504
, G03F 7/039 501
, G03F 7/075 511
, H01L 21/312
, H05K 3/28
