特許

J-GLOBAL ID：200903004401806645

回折格子の作製方法および二光束干渉露光装置

発明者： 前田 英男
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 植本 雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-215500
公開番号（公開出願番号）：特開平10-039125
出願日： 1996年07月26日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】 回折格子の作製においてスペックルノイズを低減し、ノイズの少ない回折格子を作製することが可能である。【解決手段】 光源1と、対物レンズ11および開口12からなり光源1からの光束を空間的にフィルタリングする少なくとも1つの空間フィルタ4と、該空間フィルタ4からの光束をコリメートするコリメートレンズ5と、光束を二光束に分離する分離手段6とを有し、分離された二光束を重ね合せることによって感光体8上に干渉縞を発生させる二光束干渉露光装置において、ノイズの影響を低減するため、露光中に、前記対物レンズ11を少なくとも一方向に移動させて光束を掃引する掃引手段18を備えている。

請求項（抜粋）：

二光束干渉法により回折格子を作製する回折格子の作製方法において、ノイズの影響を低減するため、光源からの光束を所定方向に掃引しながら、二光束干渉法により回折格子を作製することを特徴とする回折格子の作製方法。

IPC (4件)：

G02B 5/18 ,  G03H 1/04 ,  G03H 1/18 ,  G11B 7/135

FI (4件)：

G02B 5/18 ,  G03H 1/04 ,  G03H 1/18 ,  G11B 7/135 A