光吸収膜

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：篠原泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-333521
公開番号（公開出願番号）：特開平5-093811
出願日： 1991年12月17日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：

【要約】【目的】クラックを生じることのない高品質の反射防止の光吸収膜を提供すること。【構成】光吸収膜は、誘電体膜と金属膜とを交互に多数積層することによって構成されている。光吸収膜の中心部付近にある層の膜はSiO2 で形成されている。

請求項（抜粋）：

誘電体膜と金属膜とを積層することによって構成される光吸収膜において、積層されるべき膜数をMとしたとき、膜総数が偶数の場合、(M/2)±n〔但し、n=0,1,2,....,{(M/2)-2}〕層目の膜の何れかをSiO2 により形成したことを特徴とする光吸収膜。

引用特許：

審査官引用 (2件)

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